我院张杰博士在电化学纳米压印尺寸效应研究方面取得进展，相关成果“Interfacial Reactions and Mass Transport in the Processes of Electrochemical Nanoimprint Lithography”发表在The Journal of Physical Chemistry C（J. Phys. Chem. C 2019, 123, 27073-27079.）
电化学纳米压印技术是一种基于金属辅助刻蚀原理和纳米压印工作模式的新型电化学纳米制造技术。目前该技术已成功现实了Si, GaAs等主流半导体器件材料的简单二维和复杂三维微纳米结构的批量加工。然而受模板与基底之间纳米尺度超薄液层钝化和扩散传质的限制，目前仍难以实现高深宽比纳米结构的加工。张杰博士课题组通过调控接触力改变接触面积，研究电化学纳米压印过程中不同接触面积下的尺寸效应。通过有限元方法建立了电化学纳米压印的刻蚀与传质模型，将非均匀的界面刻蚀与超薄液层中非均匀钝化和传质效应相关联。结果表明数十微米接触面积将会导致半导体表面彻底钝化，仅有接触边缘发生轻微刻蚀；数微米接触面积将会导致半导体接触中心发生轻微钝化，形成中心数十纳米的突起；亚微米接触面积时钝化效应消失，压印结构与模板完全互补。上述不均匀界面刻蚀效应是由超薄液层中非均匀钝化和传质效应导致的。该研究成果对电化学纳米压印的工艺优化具有指导意义。
电化学纳米压印尺寸效应
该工作主要由张杰博士与厦门大学詹东平教授团队合作完成，第一单位为湖南科技大学，我院本科生郭佳瑶和陈锻参与了部分实验工作。该工作得到了国家自然科学基金项目（51605404）；湖南省自然科学基金项目（2018JJ3142）和湖南省教育厅优秀青年基金（18B220）的资助。
全文链接：https://pubs.acs.org/doi/abs/10.1021/acs.jpcc.9b08468
张杰博士个人简介：http://chem.hnust.edu.cn/szdw/hx/111768.htm
